新景升下线首台8.5代电致变色薄膜设备

据北京亦庄公众号消息，近日，北京新景升智联科技有限公司（以下简称“新景升”）的8.5代电致变色薄膜产线完成了重大攻关节点验收，并成功下线首台设备。这一进展标志着我国在大面积连续磁控溅射镀膜核心装备方面取得了重大突破，有效补齐了产业链上游的关键短板。

打破进口依赖，实现技术自主

电致变色薄膜是一种可通过电压可逆调节光学状态的功能薄膜，广泛应用于建筑节能、交通调光以及集成电路与光电器件等领域。此前，此类高端镀膜装备长期依赖进口，尤其是8.5代产线在大尺寸基板上实现多层薄膜均匀性和连续量产稳定性方面存在技术难题。新景升经过八年攻关，自研设备实现了超大基板多层薄膜的连续制备，并将膜厚均匀性控制在2%以内。

该设备所采用的大面积连续磁控溅射工艺属于物理气相沉积（PVD）的一种，是在真空环境下使靶材原子沉积到基板表面从而生长出薄膜的制备方法。所谓“8.5代”指的是玻璃基板的世代规格，第8.5代玻璃基板尺寸为2200毫米×2500毫米，世代越高代表可加工的基板尺寸越大。

下一步开展工艺验证，支撑产业化落地

接下来，该设备将运往哈尔滨景烁智能科技有限公司开展工艺验证，以支撑全固态电致变色薄膜的产业化落地。全固态无机电致变色薄膜可应用于建筑幕墙、汽车后视镜、新能源车天幕玻璃、AR/VR眼镜等领域，实现玻璃透光度的自主调节。其工作原理是在小电压（约1.2至3V）驱动下，锂离子在电致变色层与反向电致变色层之间移动，发生稳定可逆的氧化及还原反应，从而调节玻璃的反射率、透光率和吸收率，控制进入室内的光线与热量。

新景升是北京经开区重点引进培育的半导体装备标杆企业，专注于大面积镀膜技术及成套设备的研发制造，主营EC（电致变色）玻璃相关技术与产品开发。北京经开区集成电路领域目前已形成覆盖设计、制造、封测、装备、材料、零部件等环节的完整产业链。今年1至9月，经开区实现集成电路产业产值1667亿元，同比增长100%。